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1. 設(shè)備型號名稱：AERO 320 超聲波清洗機(jī)
2. 清洗對象:
A. Ring 不銹鋼晶圓環(huán)
B. Cassette 鋁合金晶片盒
C. Magazine 鋁合金治具框：規(guī)格244*82.5*127mm,重量0.4KG
D. Tray 塑料托盤
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序 號 |
工序方法 |
清洗方式 |
清洗時(shí)間 |
清洗液 |
加熱功率 |
使用溫度 |
過濾精度 |
缸蓋 |
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1 |
推車進(jìn)料 |
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2 |
超聲波清洗 （壓縮空氣鼓泡） |
34-68KHZ/1.5W |
8-10 min |
清洗劑 |
6KW |
40-60℃ |
5μ |
平移式 |
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3 |
超聲波漂洗 （壓縮空氣鼓泡） |
40-80KHZ/1.5W |
8-10 min |
純水 |
6KW |
40-60℃ |
1μ |
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4 |
超聲波漂洗 （壓縮空氣鼓泡） |
40-80KHZ/1.5W |
8-10 min |
純水 |
6KW |
40-60℃ |
1μ |
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5 |
熱風(fēng)干燥 |
熱風(fēng) |
8-10 min |
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9KW |
90-120℃ |
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平移式 |
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6 |
推車出料 |
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3. 清洗工藝:進(jìn)料→超聲波清洗（40Khz）→超聲波漂洗(40Khz)→熱風(fēng)循環(huán)烘干→出料
4. 清洗工裝
4．1 設(shè)備配有規(guī)格為:430×430×400mm的清洗外框架5只，采用￠10mm不銹鋼元棒焊接制作。Magazine、Cassette型產(chǎn)品直接裝載到清洗外框架中清洗，其中B產(chǎn)品可裝載2件/籃，C型產(chǎn)品可裝載8件/籃。
4．2 Ring、Tray型產(chǎn)品需另外制作專用治具裝載產(chǎn)品再放入清洗外框架上清洗。治具裝載量為：Ring型產(chǎn)品不低于20只/框，Tray型產(chǎn)品不低于30片/框。治具數(shù)量：Ring三種規(guī)格各3只，Tray治具3只。
